勻膠旋涂?jì)x的使用步驟：

1、開(kāi)機前準備：清理殘余物，選擇合適的吸盤(pán)，并將樣品放在吸盤(pán)正中央。

2、開(kāi)機與設定：打開(kāi)電源，設定涂布的時(shí)間和轉速，并啟動(dòng)真空吸附。

3、涂布：滴加光阻劑，并啟動(dòng)涂布過(guò)程。

4、完成涂布后，關(guān)閉真空和電源，取下樣品。

本公司提供的L2001勻膠旋涂?jì)x操作簡(jiǎn)單，方便實(shí)用，旋涂均勻，結構小巧緊湊，占地面積小，節省超凈間的使用面積，為實(shí)驗室提供了理想的解決方案，其采用創(chuàng )新設計的非真空卡盤(pán)式旋涂吸盤(pán)，無(wú)需真空泵或充氮氣，就能達到很好的旋涂效果。勻膠旋涂?jì)x可對大小不同規格的基材都可進(jìn)行旋涂，尤其是對超薄樣品，即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄時(shí)同樣能達到旋涂效果。不會(huì )出現真空吸盤(pán)旋涂較薄的基材襯底翹曲現象，影響涂層的均勻性。